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J-GLOBAL ID：200903054547986570
中心に双極子を有する曲線軸移動型レンズ補正
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997369955
Publication number (International publication number)：1998302693
Application date： Dec. 18, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】移動直線軸よりもむしろ可変的に移動される曲線軸に沿って対象物を結像させることにより生じる付加的収差をて補正する。【解決手段】改良粒子レンズは、ビームがレンズを通って偏向される際に、該ビームの主光線に追従するよう移動される軸を有する。結果として、そのレンズのために曲線移動光軸を作って、物体の大きさ及びレンズの対称軸からの距離に依存する収差を生じる。これらの収差は、同じタイプ補償収差を生成する一組の補正部材により補正される。それは、システム軸に垂直で、かつ場の勾配を生じるよう一定電流を流す少なくとも1 つのワイヤ対と、該ワイヤ対により生じるバイアス場を打ち消すためシステム軸と同芯の3つのコイルとを含んで成る。
Claim (excerpt)：
粒子光学レンズのための曲線軸補正システムであって、粒子ビームを収束させる収束場を作るためにシステム軸付近に配置され、前記システム軸に沿ってレンズ長を延ばす、場発生手段を有するレンズと、前記レンズ内に一組の軸補正場を作る軸移動手段であって、前記軸補正場の各々は前記システム軸に垂直な平面内で実質的に一様であり、かつ該一組の軸補正場は前記システム軸に沿った位置の関数として大きさが変化し、前記位置の関数は前記粒子ビームの主光線の軌道に依存しており、かつ前記一組の軸補正場の各々は、前記収束場の半径方向成分を打ち消すのに十分な大きさを有し、それによって前記収束場の移動軸は、 前記粒子ビームの主光線の前記軌道と実質的に一致する軸移動手段と、を備え、 以下のことを特徴とする曲線軸補正システム。:前記粒子ビームの前記主光線の前記軌道と前記収束場との間の交差角が軸移動平面内で交差しきい値を超え、かつ前記システムは、前記一組の軸補正場に加えて、前記システム軸に垂直な補正面内に配置され、等しい大きさの電流を同一方向に流すことによりシステム軸付近の傾斜場方位角に半径方向傾斜場のz方向の勾配(∂Bz/∂r )を持つ少なくとも一つの傾斜場を印加する第1の傾斜補正ワイヤ対からなる少なくとも一つの傾斜手段を含み、その際に、前記少なくとも一つの傾斜手段はまた、前記システム軸に沿う第一の方向に一つの方向成分を持つバイアス場をも提供するものであること、及び;一次補正リングコイルは、前記補正平面内の前記システム軸付近に配置され、 かつ前記第一の方向と反対側の第二の方向に一次補正場を生成するために第一の方向に電流を流すこと、及び;少なくとも、 二つの二次補正リングコイルは前記補正平面の反対側に配置され、 かつ二次補正場を生成するために前記第一の方向と反対の第二の方向に電流を流すこと。
IPC (3)：
H01J 37/141
, H01J 37/147
, H01J 37/153
H01J 37/141 Z
, H01J 37/147 C
, H01J 37/153 Z
