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J-GLOBAL ID：200903054548289678

トランスジューサ、これを利用したマイクロセンサ、車両制御システム

Inventor： 倉垣 智 ,  土谷 茂樹 ,  鈴木 清光 ,  嶋田 智 ,  三木 政之 ,  松本 昌大
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993004251
Publication number (International publication number)：1994213924
Application date： Jan. 13, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 マイクロセンサ、マイクロアクチュエ-タにおける可動部と固定部同士の付着を防止し、動作不可能な状態に陥ることを防止する。【構成】 可動電極3と固定電極1,2との付着を防止する手段を設ける。具体的な構成としては、可動電極3が過大変位した際に接触する絶縁体突起7を固定電極1,2に設ける。絶縁体突起7は可動電極5との接触面積が小さくなるようにしてある。【効果】 可動電極と固定電極の付着を防止でき、量産時においては歩留まりが向上し、使用時においてはマイクロセンサ等またはそれを用いた車両制御システムの信頼性が向上する。

Claim (excerpt)：

可動電極と、該可動電極と空隙を隔てて対向配置される固定電極とを備えたトランスジューサにおいて、前記固定電極に前記可動電極との付着力を低減させる突起を設けたことを特徴とするトランスジューサ。

IPC (3)：

G01P 15/125 ,  G01L 9/12 ,  B60R 21/00