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J-GLOBAL ID:200903054550884109

窒化ケイ素ウイスカ-の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991313139
Publication number (International publication number):1993124899
Application date: Nov. 01, 1991
Publication date: May. 21, 1993
Summary:
【要約】【目的】 高収率で且つ簡単な設備及び操作で得ることができる、不純物の少ない高品質の窒化ケイ素ウィスカ-の製造方法を提供する。【構成】 塩化ケイ素と窒素化合物を原料とする気相法の製造方法において、触媒として特定の金属類及び/又は金属ケイ化物類若しくは酸処理を施した金属ケイ化物類を組合せた多元触媒を用い、あるいは、さらにウイスカ-生成基板上に太い切株状の生成核を形成しておくことを特徴とする窒化ケイ素ウィスカ-の製造方法である。
Claim (excerpt):
窒素化合物及び塩化ケイ素を原料とし、気相法により窒化ケイ素ウィスカ-を製造する方法において、触媒として銅及び周期律表第VIII族に属する金属である鉄、ニッケル、コバルト、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム及び白金よりなる群(A群)から選ばれる二種以上の金属とモリブデン、ルテニウム、レニウム、及びタングステンよりなる群(B群)から選ばれる一種以上の金属とをモル比A群/B群=0.5〜10.0 の割合で有効成分として含有する多元触媒を使用することを特徴とする窒化ケイ素ウィスカ-の製造方法。
IPC (4):
C30B 29/62 ,  B01J 23/85 ,  B01J 23/88 ,  B01J 23/89

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