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J-GLOBAL ID:200903054620113504

X線顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992023753
Publication number (International publication number):1993224000
Application date: Feb. 10, 1992
Publication date: Sep. 03, 1993
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 高品質の顕微像で生体観察ができ、而も作製する際の設計や材料の選択に有利なX線顕微鏡システムを提供する。【構成】 X線光源11からX線検出器16に至る光路中に43.7Å乃至65Åの波長に対して透過性のあるX線フィルター19を配置すると共に、100nmより長い波長の紫外光を該X線フィルター19により反射させてサンプル13に照射するための紫外光源17と該X線フィルター19との光路中に紫外光の強度を変化させるための手段20を設ける。
Claim (excerpt):
X線光源より発するX線をサンプルに照射し、該サンプルを透過したX線をX線検出器で受けて物体像を得るようにしたX線顕微鏡において、上記X線光源からX線検出器に至る光路中に配置した43.7Å乃至65Åの波長に対して透過性のあるX線フィルターと、100nmより長い波長の紫外光を上記X線フィルターにより反射させて上記サンプルに照射するための紫外光源と、サンプルに照射される上記紫外光の強度を変化させる手段と、を備えたことを特徴とするX線顕微鏡。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭64-040210
  • 特開昭63-062697

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