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J-GLOBAL ID：200903054621482503

半導体加速度センサー

Inventor： 今井 正人
Applicant, Patent owner： 日本電装株式会社
Agent (1)： 藤谷 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993107688
Publication number (International publication number)：1994294812
Application date： Apr. 09, 1993
Publication date： Oct. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】4本ゲージの構成でも十分に他軸感度をキャンセルできて、さらになお小型とできる加速度センサーの提供【構成】図1のホイートストーンブリッジ(WB)回路(a) は、図1(c) に示す構造の半導体加速度センサーに構成された本発明の配置によるピエゾ抵抗素子を接続した回路で、WBの抵抗R1〜R4は図1(c) のa〜hに示す4つのピエゾ抵抗素子で、図1(c) で固定枠3の内側に、XY平面に配置される錘2を支える4本のビーム1上にあり、かつ交互に固定枠側、錘側に位置する。結果として錘の動きで信号に寄与するのはZ軸方向の運動のみであり、錘2の可能な運動はZ軸方向の並進運動以外にはX、Y軸を軸とする回転運動のみなので、結局目標とするZ軸方向の加速度がほぼ正しく検出できる。

Claim (excerpt)：

三次元空間直交軸X,Y,Z 軸のX-Y平面上で、X軸対称かつY軸対称な配置の、二組の平行な合計4本の両持梁を有し、該4本の前記両持梁で固定枠の内側の空間に支えられるX軸対称かつY軸対称の錘でもって、前記両持梁に設けられたピエゾ抵抗素子によってZ軸方向の加速度を検知する半導体加速度センサーにおいて、前記ピエゾ抵抗素子が4本の前記両持梁にそれぞれ一個ずつ合計4個、かつ、隣合う位置関係にある前記ピエゾ抵抗素子がそれぞれ前記両持梁の錘側端部と固定枠側端部とに交互に配置され、前記ピエゾ抵抗素子は隣合う配置の素子どうしが接続されてループとなったホイートストーンブリッジ回路に構成され、相対するブリッジ端子が出力端子、残りのブリッジ端子が電源端子であることからなることを特徴とする半導体加速度センサー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-356971
  
• 半導体加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-357615   Applicant：日本精機株式会社