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J-GLOBAL ID：200903054626632767

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
粉川 良平

About 粉川 良平


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999144348
Publication number (International publication number)：2000338027
Application date： May. 25, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、視認性を高め光学顕微鏡観察による位置決めを容易とする。【解決手段】 探針を備えるカンチレバー6と、試料Sを探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナー2と、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッター4とレーザー光保護用のフィルター5の少なくともいずれか一方を、光学顕微鏡光路から退避させる移動機構3を備える。ビームスプリッターと光保護用のフィルターの両方あるいは一方を光学顕微鏡光路から退避させることによって、光学顕微鏡光路から光学像の光量を減少させる要因を除去し、光学顕微鏡による観察において光量の低減を抑制して視認性を高める。
Claim (excerpt)：
探針を備えるカンチレバーと、試料を探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナーと、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッターとレーザー光保護用のフィルターの少なくともいずれか一方を、光学顕微鏡光路から退避させる移動機構を備える、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/16 ,  G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30
FI (4)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z
F-Term (32)：
2F063AA04 ,  2F063AA43 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB01 ,  2F063DB06 ,  2F063EA16 ,  2F063EA20 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063ZA01 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069AA60 ,  2F069DD24 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ15 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069LL11 ,  2F069MM04 ,  2F069NN02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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