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J-GLOBAL ID：200903054691105758

研磨装置

Inventor： 有山 敬
Applicant, Patent owner： 株式会社有山精機製作所 ,  三栄機工株式会社
Agent (1)： 地曳 寛治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992134205
Publication number (International publication number)：1994091519
Application date： Apr. 27, 1992
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 変動磁界内で研磨材を流動させて被研磨体を研磨する作用を確実に行なう。【構成】 容器20内に被研磨体と磁性体からなる研磨材30を充填し、容器20下方で磁石を回転させ、その変動磁界により研磨材30を流動させて、被研磨体を研磨する。容器20の周囲に磁界発生手段40を配置し、変動磁界と異なる磁界を容器20内に発生させ、研磨材30の流動域を変化させることにより、被研磨体の全面に研磨材30を廻り込ませてその表面を均一に研磨する。

Claim (excerpt)：

磁性体からなる研磨材と被研磨体とを充填した容器に対向して磁石が配設され、この磁石が回転して容器内に変動磁界を発生させて前記被研磨体を研磨する研磨装置において、前記磁石による変動磁界と異なった磁界を前記容器内に発生させる磁界発生手段が容器の周囲に配設されていることを特徴とする研磨装置。