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J-GLOBAL ID:200903054705179016
磁気ヘッド用ウェーハのめっき治具および磁気ヘッド用ウェーハのめっき方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999227263
Publication number (International publication number):2001056904
Application date: Aug. 11, 1999
Publication date: Feb. 27, 2001
Summary:
【要約】【課題】 均一なめっき厚のめっきを施すことが可能となる磁気ヘッド用ウェーハのめっき治具および磁気ヘッド用ウェーハのめっき方法を提供する。【解決手段】 磁気ヘッド用ウェーハ21を装着可能で、該ウェーハ21にめっき電流を流す主電極と、ウェーハ21を囲んで配置され、めっき電源に接続されるリング状の補助電極34とを具備する磁気ヘッド用ウェーハのめっき治具30において、前記リング状の補助電極34が、周方向に複数に分割されていることを特徴としている。
Claim (excerpt):
磁気ヘッド用ウェーハを装着可能で、該ウェーハにめっき電流を流す主電極と、ウェーハを囲んで配置され、めっき電源に接続されるリング状の補助電極とを具備する磁気ヘッド用ウェーハのめっき治具において、前記リング状の補助電極が、周方向に複数に分割されていることを特徴とする磁気ヘッド用ウェーハのめっき治具。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (18):
4K024AA14
, 4K024AB01
, 4K024AB08
, 4K024BA11
, 4K024BB12
, 4K024BB14
, 4K024BC10
, 4K024CB06
, 4K024CB08
, 4K024CB21
, 4K024FA05
, 4K024GA16
, 5D093BD01
, 5D093FA12
, 5D093FA16
, 5D093FA26
, 5D093HA13
, 5D093HB23
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