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J-GLOBAL ID：200903054709517625

表面欠陥検査装置

Inventor： 木村 哲也 ,  広野 歩
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996001065
Publication number (International publication number)：1997189535
Application date： Jan. 08, 1996
Publication date： Jul. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ベルト状被検査体の裏面の凹凸、張力の変動、振動、回転ムラ、或いは表面に付着したほこり等によって表面欠陥の検出結果にノイズが重畳する。【解決手段】 転写ベルト1にテンションロール4の重量に基づいて所定の張力を付与するとともにアイドルロール5によってラインセンサ11の受光視野9の裏面から所定の圧力を加えるようにした。

Claim (excerpt)：

ベルト状の被検査体を回転自在に支持する支持手段と、前記被検査体に所定の張力を付与する第1の張力付与手段と、前記被検査体がほぼ直線状になる位置に所定の張力を付与する第2の張力付与手段と、前記被検査体の前記位置に照射光を出射する光源と、前記照射光に基づく前記被検査体の前記位置からの反射光を受光する受光手段と、前記反射光に基づいて前記被検査体の表面の欠陥の立体形状に基づく特徴量を算出する特徴量算出手段と、前記特徴量に基づいて前記被検査体の良否の判定を行う良否判定手段とを有することを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/89

FI (3)：

G01B 11/30 E ,  G01B 11/24 G ,  G01N 21/89 A