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J-GLOBAL ID：200903054725477790

レーザ加工装置

Inventor： 畑 憲志
Applicant, Patent owner： 澁谷工業株式会社
Agent (1)： 神崎 真一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993027609
Publication number (International publication number)：1994218569
Application date： Jan. 22, 1993
Publication date： Aug. 09, 1994
Summary：

【要約】【構成】 制御装置7に能動フィルタ7Aを設けて、該能動フィルタ7Aを通過した静電容量センサ9の検出信号に基づいて、制御装置7は昇降機構6の作動を制御する。【効果】 プラズマが発生する被加工物2をレーザ加工する際に上記静電容量センサ9の検出信号が周期的なものとなっても、上記能動フィルタ7Aによってプラズマによる影響を受けた周波数の信号を除去することができる。そのため、制御装置7はプラズマの影響を受けることなく昇降機構6の作動を制御することができ、レーザ加工中に被加工物2と加工ヘッド3との間の距離を一定に維持できる。したがって、プラズマが発生する被加工物2であっても加工不良を起こすことなく、レーザ加工を施すことができる。

Claim (excerpt)：

レーザ光線を被加工物に照射する加工ヘッドと、上記加工ヘッドを昇降させる昇降機構と、上記昇降機構の作動を制御する制御装置と、被加工物と加工ヘッドとの間の距離を検出して、その検出信号を上記制御装置に入力する静電容量センサとを備え、被加工物と加工ヘッドとの間の距離を所定の間隔に維持して被加工物に所要のレーザ加工を施すようにしたレーザ加工装置において、上記制御装置に、入力される信号から除去すべき信号の周波数を変更可能な能動フィルタを設け、被加工物の加工条件が制御装置に入力されたら、制御装置は該被加工物にレーザ加工を施す際のレーザ光線のパルスの周波数を設定すると同時に、上記能動フィルタが除去すべき信号の周波数を上記レーザ光線のパルスの周波数と同一に設定し、上記制御装置は、上記能動フィルタを通過した静電容量センサの検出信号に基づいて、上記昇降機構の作動を制御することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3)：

B23K 26/04 ,  B23K 26/00 ,  G01B 7/00