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J-GLOBAL ID：200903054728361687

自動搬送装置及びそれを用いた物品の自動搬送方法

Inventor： 松尾 俊史
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 高橋 光男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993005175
Publication number (International publication number)：1994216216
Application date： Jan. 14, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】半導体ウエハ洗浄工程などの加工工程のより精密な動作制御及び管理を行うこと。【構成】AGV(物品搬送ロボット)30の、例えば、アーム装置36に、物品であるウエハキャリヤ1を保持した状態で、それに付されたバーコード3が読み取れるバーコードリーダー37Aを内蔵させ、ウエハキャリヤ1をストッカー120から洗浄装置13へ、またはその逆に搬送する間、前記バーコード3を読み取り、そのウエハキャリヤ1の位置情報を伝送できるように構成した自動搬送方法である。【効果】ウエハキャリヤの搬送中、その現在位置情報が時々刻々キャッチできるので、ウエハキャリヤの現在位置とホストコンピューターシステムに予め入力されているウエハキャリヤ追跡情報による位置とのずれを低減することができる。

Claim (excerpt)：

バーコードが付与された物品を搬送する自動搬送装置において、前記物品を保持した状態で前記バーコードが読み取れるバーコードリーダーを内蔵していることを特徴とする自動搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-267045
  
• 特開平4-209011
  
• 特開平4-328608