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J-GLOBAL ID：200903054749452550
空気中のホウ素化合物を捕集、脱着する方法およびその分析方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
朝日奈 宗太 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998141292
Publication number (International publication number)：1999333233
Application date： May. 22, 1998
Publication date： Dec. 07, 1999
Summary：
【要約】【課題】 半導体製造クリーンルーム環境空気中の1ng/m3レベルのホウ素の定量分析を行うための空気中のホウ素化合物をの捕集、脱着する方法およびその分析方法を提供する。【解決手段】 空気中のホウ素化合物を固体捕集剤で捕集し、固体捕集剤を液体に浸漬することにより捕集したホウ素化合物を脱着する。
Claim (excerpt)：
空気中のホウ素化合物を固体捕集剤で捕集し、固体捕集剤を液体に浸漬することにより捕集したホウ素化合物を脱着する空気中のホウ素化合物の捕集、脱着方法。
IPC (3)：
B01D 53/02
, B01D 53/46
, G01N 27/62
B01D 53/02 Z
, G01N 27/62 V
, B01D 53/34 120 A
