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J-GLOBAL ID：200903054765667168
微小構造形成装置および方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995103435
Publication number (International publication number)：1996298255
Application date： Apr. 27, 1995
Publication date： Nov. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、256M以上のULSIや量子効果素子などのデバイスのための微小な構造物を製作する、微小構造形成装置および方法を提供する。【構成】 雰囲気を調節可能な反応容器1の中に、試料2を保持する試料ホルダー3と、探針4と、駆動機構5を備えた走査型プローブ顕微鏡を有し、試料表面のごく近傍にガスの導入機構6と前記ガスの局所排気を行う機構7とを備える。探針4はプラチナ-イリジウムでカンチレバー8の先端に位置し、反応ガスは水素を主成分とする。【効果】 本発明によって、走査型プローブ顕微鏡を用いる構造形成の際に起こりやすい探針先端への影響を避けた条件で、安定に高速かつ連続的に加工が可能な微小構造形成装置および方法を提供するすることができた。
Claim (excerpt)：
雰囲気を調節可能な反応容器の中に、試料を保持する試料ホルダーと、探針と、駆動機構を備えた走査型プローブ顕微鏡を有し、試料表面の近傍にガスの導入機構と前記ガスの局所排気を行う機構とを備えたことを特徴とする微小構造形成装置。
FI (2)：
H01L 21/302 B
, H01L 21/302 J
