双方向光半導体装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：前田弘 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998054641
Publication number (International publication number)：1999248978
Application date： Mar. 06, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】光導波路を有する基板、半導体発光素子と、光分岐器と及び半導体受光素子が一体化されてなる双方向光半導体装置において、装置全体の小型化と光アイソレーションの向上との両立を図る。【解決手段】シリコン基板12の上面に半導体レーザ素子13が固定され、ガラス基板14の溝部14aには光ファイバ15が埋め込まれている。ガラス基板14には光軸に対して所定の角度を持つ光分岐器16が挿入されており、該光分岐器16は、半導体レーザ素子13から出射された出力信号光を通過させる一方、光ファイバ15に入力された入力信号光をガラス基板14の反対側に導く。ガラス基板14の上面には、光分岐器16により導かれた入力信号光を受ける受光素子17が固定されている。受光素子17における、受光部を除く下面、レーザ素子側の側面、反レーザ側の側面及び上面に遮光性樹脂22が塗布されており、半導体レーザ素子13から出射されて受光素子17に向かう光は遮光性樹脂22によって遮断される。

Claim (excerpt)：

出力信号光及び入力信号光を伝搬する光導波路を内部に有する基板と、前記光導波路の一端部に出力信号光を出射する半導体発光素子と、前記光導波路に設けられ、出力信号光の少なくとも一部を通過させると共に入力信号光の少なくとも一部を前記光導波路の外部に導く光分岐器と、前記基板に設けられ、前記光分岐器により前記光導波路の外部に導かれた入力信号光が入射する半導体受光素子と、前記半導体受光素子の表面に設けられ、前記半導体発光素子から出射された光を遮断する遮光部材とを備えていることを特徴とする双方向光半導体装置。

IPC (4)：

G02B 6/42 , H01L 31/12 , H04B 10/28 , H04B 10/02

FI (3)：

G02B 6/42 , H01L 31/12 G , H04B 9/00 W

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平2-073208
特開昭56-024969
半導体光集積回路およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-122364 Applicant：横河電機株式会社

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