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J-GLOBAL ID：200903054828790208
レーザ加工用光学装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
春日 讓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998061616
Publication number (International publication number)：1999254170
Application date： Mar. 12, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：
【要約】【課題】簡単な構成で小形でありながら、2つの照射点を中心軸の周りに回転させることが可能なレーザ加工用光学装置を実現する。【解決手段】反射鏡90からレーザビームL1が照射される三角柱プリズム101、102、集光レンズ103、104は中心軸Cに関して対称な位置に配置される。三角柱プリズム101、102の頂点を含む稜を中心軸Cを含む面、即ち加工対称面に一致させ、且つ加工対称面に関して対称となるように配置される。集光レンズ103、104は一対の集光レンズであり、それぞれのレンズ中心軸が距離Dを隔てて加工対称面に関して対称位置に配置されている。プリズム101、102、レンズ103、104は回転内筒30に固定されており、回転内筒30と同時に一体となって中心軸Cの周りに回転される。
Claim (excerpt)：
レーザビームを2分割して被加工物に対して2点同時に照射を行うレーザ加工用光学装置において、ビームを2分割する2個の三角柱プリズムであって、上記同時照射する2点を結ぶ直線にほぼ直交し、この直線の中心点を通る面である加工対称面に、上記2個の三角柱プリズムの稜線がほぼ一致し、所定の間隔をもって加工対称面に関し対称となるように配置され、2つの平行ビームを出射する2個の三角柱プリズムと、上記2個の三角柱プリズムから出射される2つの平行ビームが照射され、上記加工対称面に関して対称な位置に、所定の間隔をもって配置された同一焦点距離を有する2個の集光レンズと、を備えることを特徴とするレーザ加工用光学装置。
IPC (2)：
FI (4)：
B23K 26/06 C
, B23K 26/06 G
, B23K 26/06 Z
, H01L 21/78 B
