針状多孔性センサー

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須藤政彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998064272
Publication number (International publication number)：1999248660
Application date： Feb. 26, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】気孔率の高い多孔性のガスセンサー素子を提供する。【解決手段】針状に形態を制御されたガスセンサー材料粒子を静電気的にセンサー基板上に堆積することを特徴とするガスセンサー素子。【効果】針状に形態が制御されたガスセンサー材料粒子が互いに絡み合った状態で堆積した多孔性の厚膜構造が得られる。すなわちガスセンサー材料粒子の形態と厚膜構造を同時に制御した素子を容易に作製することができ、ガスセンサー素子として好適な多孔性厚膜を合成することができる。

Claim (excerpt)：

数100nm以上の長さの針状に形態を制御した半導体ガスセンサー粒子から成る、多孔性の半導体ガスセンサー素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭61-189450
特開昭63-008548
特開平1-250748

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