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J-GLOBAL ID：200903054847660803
レンズ形成方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993035491
Publication number (International publication number)：1994252372
Application date： Feb. 24, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】 例えばCCD固体撮像素子において、レンズ間隔が零となるオンチップマイクロレンズを安定して形成できるようにする。【構成】 平坦化膜であるレンズ材料層上において膨張する物質(ゼラチン又はカゼイン)をレンズ形状に加工する工程と、膨張する物質をレンズ形状を保持したまま膨張させる工程と、膨張した物質をエッチバックしてレンズ材料層に膨張したレンズ形状を転写する工程とを有する。
Claim (excerpt)：
平坦化膜上において膨張する物質を隣り合う間隔をあけた状態でレンズ形状に加工する工程と、前記レンズ形状の膨張する物質を前記隣り合う間隔が小又は零となるように膨張させる工程を有することを特徴とするレンズ形成方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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