Pat

J-GLOBAL ID：200903054877117748

エレクトレット

Inventor： 一矢 光雄 ,  笠野 文宏 ,  ジャッキー レヴィナー
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996092817
Publication number (International publication number)：1997283374
Application date： Apr. 15, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】寸法が小さくても、期待寿命を増大させることが可能なエレクトレットを提供するにある。【解決手段】シリコン単結晶ウェハからなる固定基体100上にSiO2 膜101をプラズマによる気相により付着形成し、このSiO2 膜101の中央部を帯電させてエレクトレット18を構成する。帯電されていないSiO2 膜101の周辺部分は絶縁膜16となり、固定基体100を保護するとともに、固定接点19や接合用金属薄膜層26と固定基体100とを絶縁する。

Claim (excerpt)：

固体基板上にSiO2 膜を形成し、このSiO2 膜の少なくとも周辺部を除いた一部を帯電させて構成したことを特徴とするエレクトレット。

IPC (2)：

H01G 7/02 ,  C01B 33/12

FI (2)：

H01G 7/02 A ,  C01B 33/12 Z