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J-GLOBAL ID：200903054885934755

円筒物体の欠陥検査装置および方法並びに記憶媒体

Inventor： 山田 茂
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997355466
Publication number (International publication number)：1999185040
Application date： Dec. 24, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ローコストで欠陥検出能力の高い円筒物体上の欠陥検出装置を提供できるようにする。【解決手段】 被検査円筒物体2の表面上に規則的なパターンを投光するパターン投光手段1と、上記被検査円筒物体2の表面上に投光された規則的なパターンを撮像して画像データを生成する画像データ生成手段5と、上記画像データにおけるシェーディング信号レベルを除去するシェーディング補正手段9と、上記シェーディング補正された後の画像データを2値化画像データに変換するとともに、上記2値化画像データに変換された画像データにおける投光パターンの規則性を評価する手段10とを設け、同じ領域を複数回検査して平均化したり、あるいは加算したりすることなく正確に欠陥検出を行うことができるようにする。

Claim (excerpt)：

被検査円筒物体の表面を長手方向に沿って帯状に照明するとともに、上記照明した領域を撮像して画像信号を生成し、上記画像信号に基づいて上記被検査円筒物体上に存在する欠陥を検出する円筒物体の欠陥検査装置において、上記被検査円筒物体の表面上に規則的なパターンを投光するパターン投光手段と、上記被検査円筒物体の表面上に投光された規則的なパターンを撮像して画像データを生成する画像データ生成手段と、上記画像データにおけるシェーディング信号レベルを除去するシェーディング補正手段と、上記シェーディング補正された後の画像データを2値化画像データに変換する変換手段と、上記2値化画像データに変換された画像データにおける投光パターンの規則性を評価する評価手段とを有することを特徴とする円筒物体の欠陥検査装置。

IPC (6)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  H04N 1/21 ,  H04N 1/401 ,  H04N 1/403

FI (6)：

G06F 15/62 400 ,  G01N 21/88 A ,  H04N 1/21 ,  G06F 15/64 M ,  H04N 1/40 101 A ,  H04N 1/40 103 A