Pat

J-GLOBAL ID：200903054897950357

板状体の吸着保持装置

Inventor： 多田 栄一 ,  渡辺 和男
Applicant, Patent owner： 共栄制御機器株式会社 ,  多田 栄一
Agent (1)： 吉村 直樹 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992038666
Publication number (International publication number)：1993208389
Application date： Jan. 28, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 LCDのガラス基板やウェーハを、損傷や表面汚染がないように負圧を利用して吸着保持する。【構成】 基板1に4個の吸入孔6及び4本の吸気路7と、吸気路7と吸気管2を接続する集合吸気路8と、4本の制御路9を設ける。制御路9には捩込み量で吸気路7の径を可変させ、流量を制御するためのねじ状のバルブ体10を取付ける。基板1の下面には、4個の突起12とストッパ13を突出形成する。突起12の位置がガラス基板11上の透明電極その他の回路に接触しないようにガラス基板11の端縁をストッパ13に突き当てて位置決めし、吸気源により吸入孔6から空気を吸引すると突起12による隙間X内が負圧になり、ガラス基板11は吸着保持される。吸着力はバルブ体10の制御路9内への突出寸法の調整して可変させる。

Claim (excerpt)：

下面を略平坦面とした基板内に吸気源へ接続する吸気路を設け、該吸気路の吸気孔を上記下面に開口させ、かつ上記吸気路の途中部位に連通する制御路を上記基板の外表面に開口させ、該制御路に吸気量を調節する流量調整弁を配してなる板状体の吸着保持装置。

IPC (2)：

B25J 15/06 ,  B65H 29/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭55-066181
  
• 特開昭57-065076