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J-GLOBAL ID：200903054898654522

定量ポンプ

Inventor： 青木 登
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 田辺 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992287060
Publication number (International publication number)：1994117377
Application date： Oct. 02, 1992
Publication date： Apr. 26, 1994
Summary：

【要約】【目的】 吐出量を正確に制御できる定量ポンプを提供する。【構成】 圧電素子を利用して流体を送る構成の定量ポンプにおいて、圧電素子22の所定位置に変位検出用の電極23を設け、圧電素子22の変形によって生じる電圧信号を変位検出用の電極23から取り出し、この電圧信号を利用して圧電素子の駆動電圧をフィードバック制御することを特徴とする定量ポンプ。

Claim (excerpt)：

圧電素子を利用して流体を送る構成の定量ポンプにおいて、圧電素子(22)の所定位置に変位検出用の電極(23)を設け、圧電素子(22)の変形によって生じる電圧信号を変位検出用の電極(23)から取り出し、この電圧信号を利用して圧電素子の駆動電圧をフィードバック制御することを特徴とする定量ポンプ。

IPC (2)：

F04B 43/04 ,  F04B 9/00