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J-GLOBAL ID：200903054899619704

露光装置および露光方法および半導体装置の作製方法

Inventor： 安達 広樹
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999320514
Publication number (International publication number)：2001085320
Application date： Nov. 11, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、制御性の高い裏面露光装置および露光方法を提供するとともにそれを用いた半導体装置の作製方法を提供する。【解決手段】 本発明は、基板の表面側に反射手段602が感光性薄膜表面から距離X(X=0.1μm〜1000μm)離れて設けられた裏面露光装置を用いて露光を行い、パターン600の端部からの距離Yの位置に制御性良く感光性薄膜パターン606をセルフアライン方式で形成し、その方法を用いてTFTを作製する。

Claim (excerpt)：

感光性薄膜が設けられた透光性基板を設置するステージと、前記透光性基板の裏面側から前記感光性薄膜を照射する光源と、前記透光性基板の表面側に設けられた反射手段とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G02F 1/1365 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (4)：

H01L 21/30 505 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 616 A ,  H01L 29/78 616 N

F-Term (113)：

2H092GA59 ,  2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB42 ,  2H092JB44 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092KA22 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA27 ,  2H092MA28 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA42 ,  2H092NA07 ,  2H092NA17 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092PA06 ,  2H092PA13 ,  2H092QA07 ,  5F046AA15 ,  5F046CB02 ,  5F046CC01 ,  5F046FC09 ,  5F110AA14 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC08 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD25 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE08 ,  5F110EE14 ,  5F110EE23 ,  5F110EE34 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110FF32 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110GG51 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN12 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110PP06 ,  5F110PP34 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ12 ,  5F110QQ21 ,  5F110QQ28