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J-GLOBAL ID：200903054903107748

ガス検出装置

Inventor： 平木 英朗
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996057920
Publication number (International publication number)：1997250979
Application date： Mar. 14, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 不活性ガス中に存在する低濃度の分解ガスを高感度かつ高精度に検出できるガス検出装置を提供することを課題とする。【解決手段】 不活性ガス中に存在する該不活性ガスの分解ガスを検出するガス検出装置において、ガス吸着膜を形成した振動子の特性変化により前記分解ガスを検出するガスセンサと、前記ガスセンサを格納し、分解ガスを含まない不活性ガスである標準ガスと分解ガスを含む不活性ガスである被検ガスが交互に充填されるセンサ容器と、前記振動子の特性変化により被検ガスに含まれる分解ガス濃度を検出する制御手段とを有し、前記センサ容器は、前記標準ガスと前記被検ガスを同じ圧力・温度で前記ガスセンサに接触させる手段を具備するように構成される。

Claim (excerpt)：

不活性ガス中に存在する該不活性ガスの分解ガスを検出するガス検出装置において、ガス吸着膜を形成した振動子の特性変化により前記分解ガスを検出するガスセンサと、前記ガスセンサを格納し、分解ガスを含まない不活性ガスである標準ガスと分解ガスを含む不活性ガスである被検ガスが交互に充填されるセンサ容器と、前記振動子の特性変化により被検ガスに含まれる分解ガス濃度を検出する制御手段とを有し、前記センサ容器は、前記標準ガスと前記被検ガスを同じ圧力・温度で前記ガスセンサに接触させる手段を具備することを特徴とするガス検出装置。