Pat
J-GLOBAL ID:200903054910287352
感光性樹脂およびその組成物
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000335097
Publication number (International publication number):2002012665
Application date: Nov. 01, 2000
Publication date: Jan. 15, 2002
Summary:
【要約】【課題】 アルカリ現像が可能で、現像マージンが広く、解像度、アスペクト比などの露光、解像特性に優れ、かつ、優れた組成物保存安定性を示す感光性樹脂前駆体およびその用途を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)のヒドロキシポリアミドの水酸基の一部に、一般式(2)のイソシアナート化合物を反応させて感光性ポリベンズオキサゾール前駆体樹脂を製造する。【化1】【化2】
Claim (excerpt):
下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミドの水酸基の一部に、下記一般式(2)で表される不飽和ニ重結合を含むイソシアナート化合物を反応させることにより得られる感光性ポリベンズオキサゾール前駆体樹脂。【化1】[式中R1は2価の芳香族基、R2は4価の芳香族基である。nは2〜150の整数である]【化2】[式中、R3は水素原子および/または炭素数1〜3の脂肪族基であり、R4,R5はそれぞれ独立に水素原子および/または炭素数1〜3の脂肪族基である。mは2〜10の整数である]
IPC (6):
C08G 73/22
, C08K 5/00
, C08L 79/06
, G03F 7/038 501
, G03F 7/40 501
, H01L 21/027
FI (6):
C08G 73/22
, C08K 5/00
, C08L 79/06
, G03F 7/038 501
, G03F 7/40 501
, H01L 21/30 502 R
F-Term (84):
2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA10
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025BC70
, 2H025CA01
, 2H025CC03
, 2H025FA01
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H096AA00
, 2H096AA25
, 2H096AA27
, 2H096BA05
, 2H096BA06
, 2H096BA20
, 2H096DA01
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 4J002CH052
, 4J002CM031
, 4J002EE036
, 4J002EE046
, 4J002EH036
, 4J002EH047
, 4J002EH057
, 4J002ES016
, 4J002ET017
, 4J002EV316
, 4J002FD142
, 4J002FD146
, 4J002FD147
, 4J002FD208
, 4J002GP03
, 4J002GQ00
, 4J043PA02
, 4J043PA19
, 4J043PC085
, 4J043PC086
, 4J043QB58
, 4J043RA52
, 4J043SA71
, 4J043SB01
, 4J043TA11
, 4J043TA31
, 4J043TA35
, 4J043TA55
, 4J043UA121
, 4J043UA131
, 4J043UA141
, 4J043UA151
, 4J043UA261
, 4J043UB021
, 4J043UB121
, 4J043UB162
, 4J043UB221
, 4J043UB301
, 4J043VA011
, 4J043VA021
, 4J043VA031
, 4J043VA041
, 4J043VA051
, 4J043WA06
, 4J043XA06
, 4J043XB11
, 4J043XB17
, 4J043XB19
, 4J043YA06
, 4J043YA07
, 4J043ZA12
, 4J043ZA46
, 4J043ZB03
, 4J043ZB11
, 4J043ZB22
, 4J043ZB47
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