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J-GLOBAL ID：200903054917886529
カーボンナノチューブの製造装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：
日比 紀彦
, 岸本 瑛之助
, 渡邊 彰
, 清末 康子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003116131
Publication number (International publication number)：2004323871
Application date： Apr. 21, 2003
Publication date： Nov. 18, 2004
Summary：
【課題】均一な電子放出、低い電圧での駆動および長寿命化を達成することができる、カーボンナノチューブを提供する。【解決手段】カーボンナノチューブの製造装置は、密閉状の反応容器1 と、同容器の頂部に配された原料ガス供給管7 および触媒金属溶液供給管8 と、同容器の上端寄りに設けられ、かつ化学蒸着法によりカーボンナノチューブを形成する反応ゾーン9 と、反応ゾーンの下に設けられ、かつカーボンナノチューブを静電作用により垂直に配向すると共に下方に加速する静電ゾーン14と、静電ゾーンの下に配置され、かつ降下して来るカーボンナノチューブを固着する導電性樹脂層21を表面に有する基板11と、反応容器の底壁6 に設けられた排気口20とを具備したものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
密閉状の反応容器と、同容器の頂部に配された原料ガス供給管および触媒金属溶液供給管と、同容器の上端寄りに設けられ、かつ化学蒸着法によりカーボンナノチューブを形成する反応ゾーンと、反応ゾーンの下に設けられ、かつカーボンナノチューブを静電作用により垂直に配向すると共に下方に加速する静電ゾーンと、静電ゾーンの下に配置され、かつ降下して来るカーボンナノチューブを固着する導電性樹脂層を表面に有する基板と、反応容器の底壁に設けられた排気口とを具備した、カーボンナノチューブの製造装置。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C16/26
, C01B31/02 101F
4G146AA11
, 4G146AD14
, 4G146AD29
, 4G146BA12
, 4G146BC09
, 4G146BC18
, 4G146BC44
, 4G146CB23
, 4G146DA03
, 4G146DA25
, 4G146DA28
, 4G146DA44
, 4K030AA09
, 4K030BA27
, 4K030BB01
, 4K030CA07
, 4K030FA10
, 4K030KA25
, 4K030LA18
Cited by examiner (7)
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Article cited by the Patent：
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