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J-GLOBAL ID：200903054932824700

回転塗布装置

Inventor： 山口 和伸 ,  川口 直美 ,  福島 偉仁 ,  宇野 宏 ,  藤井 裕康 ,  山本 夕記
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社 ,  タツモ株式会社
Agent (1)： 小山 有 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997354331
Publication number (International publication number)：1999179264
Application date： Dec. 24, 1997
Publication date： Jul. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 基板の大型化に伴って回転塗布装置が大型化しても水平度を維持できるようにする。【解決手段】 アウターカップ11は4本の高さ調整部材21を介してベース1上に支持されている。この高さ調整部材21はベース1側に回転しないように固定される雄ネジ22と、アウターカップ11の下面側に回転しないように固定される雄ネジ23と、これら雄ネジ22,23間に螺合するナット部材24とを備え、雄ネジ22と雄ネジ23とはネジの刻設方向が逆向きになっており、ナット部材24を右廻し或いは左廻しすると、ベース1に対しアウターカップ11が上昇若しくは下降のいずれか一方の動きをなし、また前記とは逆方向にナット部材24を廻すことでアウターカップ11も前記とは逆方法に上下動する。このような操作を各高さ調整部材21毎に行ってアウターカップ11の水平度を出す。

Claim (excerpt)：

ベースに支持されるアウターカップ内にモータにて回転せしめられるインナーカップを配置し、このインナーカップ内に基板を保持するとともにインナーカップと一体的に回転する載置テーブルを設け、基板表面に滴下した塗布液を基板の回転に伴なう遠心力で拡散せしめるようにした回転塗布装置において、前記アウターカップはベースに対して高さ調整部材を介して支持されていることを特徴とする回転塗布装置。

IPC (3)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027

FI (3)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 回転カップ式液体供給装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-281159   Applicant：東京応化工業株式会社
• 飛散防止カップの洗浄方法及び塗布装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-195481   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

Cited by examiner (2)

• 回転カップ式液体供給装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-281159   Applicant：東京応化工業株式会社
• 飛散防止カップの洗浄方法及び塗布装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-195481   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社