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J-GLOBAL ID：200903054955036989

固体電解質燃料電池用薄膜の製造方法

Inventor： 佐々木 博一 ,  大歳 正司 ,  鈴木 稔 ,  一本松 正道 ,  梶村 敦子
Applicant, Patent owner： 大阪瓦斯株式会社
Agent (1)： 蔦田 璋子 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992099721
Publication number (International publication number)：1993299104
Application date： Apr. 20, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【構成】 CVD法またはEVD法を用いて、インターコネクター薄膜12や電解質薄膜14などの固体電解質燃料電池用薄膜を製造するに際し、予め、基板(例えば、基体管10やインターコネクター薄膜12)上にランタンマンガネート粉末スラリーを塗布し、これを900〜1,050°Cで焼結させてマスキング膜16を形成した後に、EVD法などにより薄膜を成膜する。【効果】 本発明の製造方法によれば、基板に密着したマスキングが可能なだけでなく、容易にマスキングやデマスキングができるため、CVD法またはEVD法を用いて固体電解質燃料電池用薄膜を製造するのが容易になる。また、成膜条件において、本発明で用いるマスキング材そのものが化学的に安定であるため、マスキング材が基板と反応せず、基板に悪影響を与えない。

Claim (excerpt)：

CVD法またはEVD法を用いて固体電解質燃料電池用薄膜を製造する方法であって、ランタンマンガネート粉末スラリーをマスキング材として用いることを特徴とする方法。

IPC (4)：

H01M 8/02 ,  C23C 16/04 ,  C23C 16/40 ,  H01M 8/12