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J-GLOBAL ID：200903054958218190
圧電振動子及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
東島 隆治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994285652
Publication number (International publication number)：1996148955
Application date： Nov. 18, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】 圧電振動子における突起部形成工程において、マスク剥離時に突起部等が圧電基板から剥離しないように形成し、製品歩留りを向上させるとともに、安定した振動特性を有し、信頼性の高い圧電振動子を得ること。【構成】 突起部を溶射により形成する工程において、突起部の高さhをマスク開口部における上面又は最小開口幅のある位置までとなるように、予め溶射量を設定して、突起部を形成する。
Claim (excerpt)：
圧電材料からなる圧電基板の対向する両主面上に導電体からなる駆動用電極を形成する工程と、前記駆動用電極上にマスクを載置して、当該マスクに形成された帯状の開口部を前記圧電基板の振動の節近傍に配置する工程と、予め決められた量の導電性材料を前記マスクの開口部に当該開口部の鉛直上方から溶射し、前記駆動用電極表面から前記開口部における上面又は最小開口幅の位置までの高さより低い突起部を前記駆動用電極表面に形成する工程と、前記マスクを前記駆動用電極上から剥離する工程と、を有する圧電振動子の製造方法。
IPC (3)：
H03H 3/02
, H01L 41/09
, H04R 17/10
