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J-GLOBAL ID：200903054967390559

画像データ比較装置

Inventor： 丸山 浩
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994049264
Publication number (International publication number)：1995260699
Application date： Mar. 18, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は比較用画像データの画素寸法を被検査用画像データの画素寸法とを容易に一致させて、検査工程に要する時間を短縮し得る画像データ検査装置を提供することを目的とする。【構成】画像メモリ7に格納された被検査用画像データD1と、設計データD2に基づいてデータ処理装置15により生成された比較用画像データD3とが比較回路13で比較されて、被検査用画像データD1に含まれる欠陥データが検出される。データ処理装置15には、設計データD2に基づいて被検査用画像データD1より細かい画素寸法で生成した基本画像データをあらかじめ生成し、基本画像データに基づいて被検査用画像データD1と画素寸法が等しい比較用画像データD3を生成する画素寸法調整回路11が備えられる。

Claim (excerpt)：

画像メモリ(7)に格納された被検査用画像データ(D1)と、設計データ(D2)に基づいてデータ処理装置(15)により生成された比較用画像データ(D3)とを比較回路(13)で比較して、被検査用画像データ(D1)に含まれる欠陥データを検出する画像データ比較装置であって、前記データ処理装置(15)には、前記設計データ(D2)に基づいて前記被検査用画像データ(D1)より細かい画素寸法で生成した基本画像データをあらかじめ生成し、前記基本画像データに基づいて前記被検査用画像データ(D1)と画素寸法が等しい前記比較用画像データ(D3)を生成する画素寸法調整回路(11)を備えたことを特徴とする画像データ比較装置。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66