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J-GLOBAL ID：200903054993793971
粘着テープの粘着力制御方法および装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991300033
Publication number (International publication number)：1993136248
Application date： Nov. 15, 1991
Publication date： Jun. 01, 1993
Summary：
【要約】【目的】 一種類の粘着テープで複数種の対象物の粘着保持に対応することが可能な粘着テープの粘着力制御技術を提供する。【構成】 ウェハリング20の粘着テープ21に粘着保持された半導体ウェハ22の裏面領域に対する紫外線4aの照射時間をシャッタ6の開閉によって制御することにより、粘着テープ21における粘着剤21aの半導体ウェハ22に対する粘着力を所望の値に制御し、ペレット22aのサイズの大小に関係なく、ピックアップ時における離脱力を一定に制御する。
Claim (excerpt)：
表面に塗布された粘着剤によって所望の対象物を保持する粘着テープの粘着力制御方法であって、前記粘着剤に対するエネルギドーズ量を制御することにより、前記粘着剤の前記対象物に対する粘着力を所望の値に制御することを特徴とする粘着テープの粘着力制御方法。
IPC (3)：
H01L 21/68
, H01L 21/78
, C09J 7/02 JKF
