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J-GLOBAL ID：200903055072332681

欠陥深さ測定方法およびその装置

Inventor： 高林 順一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 猪股 祥晃
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995302679
Publication number (International publication number)：1997145696
Application date： Nov. 21, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【目的】被検査体の形状を変えることなく、簡便かつ高い検出感度で欠陥の深さを測定する。【構成】被検査体3に発生した欠陥4の深さを超音波法により測定する。被検査体3に発生した欠陥4の真上に縦波垂直探触子1を設けるとともに、この縦波垂直探触子1に対向して横波斜角探触子2を設ける。これらの探触子1,2を二探触子法として一方を送信用とし、他方を受信用とする。欠陥4の先端部でモード変換して伝播する端部エコーが最大エネルギーとなる位置に前記両探触子1,2を位置決めさせ、この時の探触子入射点間距離を測定する。その測定結果を幾何学的に求めた超音波ビームの伝播ルートから導き出した計算式にあてはめて計算することにより欠陥の深さを求める。

Claim (excerpt)：

被検査体に発生した欠陥の深さを超音波法により測定する方法において、前記被検査体に発生した欠陥の真上に縦波垂直探触子を設けるとともに、この縦波垂直探触子に対向して横波斜角探触子を設け、これらの探触子の一方を送信用とし、他方を受信用とし、前記欠陥の先端部でモード変換して伝播する端部エコーが最大エネルギーとなる位置に前記両探触子を位置決めさせ、この時の探触子の入射点間距離を測定し、この測定結果を幾何学的に求めた超音波ビームの伝播ルートから導き出した計算式にあてはめて計算することにより欠陥の深さを求めることを特徴とする欠陥深さ測定方法。

IPC (2)：

G01N 29/22 504 ,  G01N 29/10 501

FI (2)：

G01N 29/22 504 ,  G01N 29/10 501