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J-GLOBAL ID:200903055133087464

可視光下で光触媒性を示す酸化チタン膜及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001323194
Publication number (International publication number):2003126700
Application date: Oct. 22, 2001
Publication date: May. 07, 2003
Summary:
【要約】【課題】 数十nm程度の非常に薄い厚さで平滑な膜の作製が可能なレーザアブレーション成膜法による蒸着とその後の熱処理により、酸素欠損を含まない、即ち、熱的に安定で、可視光下で光触媒性を示す酸化チタン膜を作製することである。【解決手段】 本発明では、レーザアブレーション成膜法を用いて(0001)面方位のサファイア単結晶基板上に室温付近(20°C)で酸化チタンを蒸着し、その後、空気中で熱処理させることにより、可視光下で光触媒性を示す酸化チタン膜を作製する。
Claim (excerpt):
サファイア基板上に成膜したルチルとアナターゼ結晶構造のTiO2及びTi2O3が含まれた酸化チタン膜が可視光下で光触媒性を示すことを特徴とする、光触媒酸化チタン膜。
IPC (5):
B01J 35/02 ,  B01J 21/06 ,  B01J 37/02 301 ,  C01G 23/04 ,  C23C 14/08
FI (5):
B01J 35/02 J ,  B01J 21/06 M ,  B01J 37/02 301 P ,  C01G 23/04 C ,  C23C 14/08 E
F-Term (30):
4G047CA02 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA01A ,  4G069BA01B ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BC50A ,  4G069BC50B ,  4G069DA06 ,  4G069EC22X ,  4G069EC22Y ,  4G069EC25 ,  4G069FA01 ,  4G069FA03 ,  4G069FB02 ,  4K029AA07 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BB07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA02 ,  4K029DB20
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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