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J-GLOBAL ID：200903055147631230

液体噴射記録ヘッドの製造装置

Inventor： 長谷川 利則
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996317023
Publication number (International publication number)：1998146683
Application date： Nov. 13, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 エキシマレーザ光による溝や穴の加工を行なう際に生じる樹脂の熱膨脹あるいは収縮に起因する加工ピッチのずれを発生させることなく樹脂製天板に液流路や吐出口を精度よく形成でき、さらにマスクの取り付け時に起こるマスクの位置ずれを速やかにかつ簡単に調整できる液体噴射記録ヘッドの製造装置。【解決手段】 エキシマレーザ光Lの光路に配設された溝加工用および/または穴加工用の開口パターンを有するマスク22を介して、樹脂製ブランク10にエキシマレーザ光Lを照射して樹脂製天板の液流路や吐出口を加工する際に、移動駆動装置23が、マスク22を、エキシマレーザ光Lの光軸方向に、マスクの開口パターンの配列方向に、そしてエキシマレーザ光の光軸を中心とする回転方向に、それぞれ移動させるように構成されており、加工ピッチずれの防止やマスクの位置調整を精度良く速やかに行なうことができる。

Claim (excerpt)：

エキシマレーザ光を発生するレーザ光源、溝加工用および/または穴加工用の開口パターンを有するマスク、該マスクを移動させる移動駆動装置、前記マスクの開口パターンを投影する投影光学系、および樹脂成形された粗成形品を位置決めする移動ステージを備え、前記移動ステージにセットされた粗成形品に、エキシマレーザ光を前記マスクを介して照射することにより、溝加工および/または穴加工を施すことで液流路および/または吐出口を形成して樹脂製天板を作製する液体噴射記録ヘッドの製造装置において、前記移動駆動装置が、前記エキシマレーザ光の光路に配設された前記開口パターンを有するマスクを、前記エキシマレーザ光の光軸方向に前後に移動させる駆動手段を有し、前記マスクを前後に移動させて加工ピッチの熱によるずれやマスクの位置ずれを防止するようになしたことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造装置。

IPC (4)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/00 330 ,  B41J 2/135

FI (4)：

B23K 26/06 J ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/00 330 ,  B41J 3/04 103 N