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J-GLOBAL ID:200903055172069236
高安定弾性表面波素子
Inventor:
Applicant, Patent owner:
,
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993204616
Publication number (International publication number):1995046079
Application date: Jul. 26, 1993
Publication date: Feb. 14, 1995
Summary:
【要約】【目的】常温近傍の比較的広い温度範囲に亘って周波数温度特性を改善し、バルク波を利用するATカットと同等あるいはそれ以上の周波数温度特性を呈する弾性表面波素子を提供することを目的とする。【構成】圧電基板表面近傍を伝搬するSH型弾性表面波を利用すべく前記圧電基板表面に少なくとも一の比較的質量の重い金属材料から成るインタディジタルトランスジューサ(IDT)電極を配設した弾性表面波素子に於いて、結晶X軸を回転の中心としてXY平面に対するカットアングルθが27 ゚乃至37 ゚の範囲となるように切り出した水晶基板を前記圧電基板として用いたものであって、前記SH型弾性表面波の位相速度伝搬方向と結晶X軸との成す面内回転角ψが概ね75 ゚≦|ψ|<90 ゚となるよう前記IDT電極を構成したもの
Claim (excerpt):
圧電基板表面近傍を伝搬するSH型弾性表面波を利用すべく前記圧電基板表面に少なくとも一の比較的質量の重い金属材料から成るインタディジタルトランスジューサ(IDT)電極を配設した弾性表面波素子に於いて、結晶X軸を回転の中心としてXY平面に対するカットアングルθが27 ゚乃至37 ゚の範囲となるように切り出した水晶基板を前記圧電基板として用いたものであって、前記SH型弾性表面波の位相速度伝搬方向と結晶X軸との成す面内回転角ψが概ね75 ゚≦|ψ|<90 ゚となるよう前記IDT電極を構成したことを特徴とする高安定弾性表面波素子。
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