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J-GLOBAL ID：200903055173541044

レーザ光強度分布補正装置

Inventor： 岩崎 誠司 ,  出口 祥啓
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996113822
Publication number (International publication number)：1997297091
Application date： May. 08, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：

【要約】【目的】短時間で正確なレーザ光強度分布の補正を行なえるレーザ光強度分布補正装置を提供すること。【構成】発生されたレーザ光(2)をシート状にしたレーザシート4を測定部5へ照射する照射手段(31,32)と、この照射手段(31,32)と前記測定部5との間に設けられ、スリット14または遮光板を前記レーザシート4内でその幅方向へ移動させる移動手段(13)と、前記照射手段(31,32)と前記測定部5との間に設けられ、前記レーザシート4を所定方向へ反射させる反射手段(8)と、この反射手段(8)で反射されたレーザシートと前記測定部5に照射されたレーザシートを個別に検出する検出手段(9,6)と、を備え、前記検出手段(9,6)による各検出結果を対応させることでレーザ光強度分布を補正する。

Claim (excerpt)：

発生されたレーザ光をシート状にしたレーザシートを測定部へ照射する照射手段と、この照射手段と前記測定部との間に設けられ、スリットまたは遮光板を前記レーザシート内でその幅方向へ移動させる移動手段と、前記照射手段と前記測定部との間に設けられ、前記レーザシートを所定方向へ反射させる反射手段と、この反射手段で反射されたレーザシートと前記測定部に照射されたレーザシートを個別に検出する検出手段と、を具備し、前記検出手段による各検出結果を対応させることでレーザ光強度分布を補正することを特徴とするレーザ光強度分布補正装置。

IPC (4)：

G01M 11/00 ,  G01J 1/02 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/64

FI (4)：

G01M 11/00 T ,  G01J 1/02 K ,  G01N 21/01 D ,  G01N 21/64 Z