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J-GLOBAL ID：200903055195263862

静電チャック

Inventor： 伊藤 康隆
Applicant, Patent owner： イビデン株式会社
Agent (1)： 恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999081186
Publication number (International publication number)：2000277597
Application date： Mar. 25, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高電圧印加時や高温使用時であっても、パーティクル発生量の少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 この静電チャック1では、セラミック焼結体14からなる絶縁基材2のチャック面S1に被吸着物W1が静電的に吸着される。セラミック焼結体14よりもずり応力に強い金属材料からなる複数の被吸着物支持体6は、絶縁基材2に固定されている。被吸着物支持体6の一部分6bはチャック面S1に埋まっていて、残りの部分6aがチャック面S1から突出している。

Claim (excerpt)：

セラミック焼結体からなる絶縁基材のチャック面に被吸着物が静電的に吸着される静電チャックにおいて、前記セラミック焼結体よりもずり応力に強い金属材料からなる複数の被吸着物支持体を備えるとともに、前記被吸着物支持体はその一部分が前記チャック面に埋まった状態で前記絶縁基材に突設固定されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D

F-Term (11)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA26