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J-GLOBAL ID：200903055209890148

超微粒子材料吹き付け成膜方法

Inventor： 明渡 純 ,  鳩野 広典 ,  清原 正勝 ,  麻生 雄二 ,  横山 達郎 ,  森 勝彦
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  明渡 純 ,  東陶機器株式会社
Agent (2)： 川井 治男 ,  川井 治男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000205601
Publication number (International publication number)：2002020878
Application date： Jul. 06, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】膜内の超微粒子材料の接合が充分で、組織が緻密であり、表面が平滑であり、かつ密度の均一な膜を製造することができる超微粒子材料吹き付け成膜装置を提供すること【解決手段】超微粒子材料を基板表面上に吹き付けによって供給して形成した堆積膜によって前記超微粒子材料の膜を形成する超微粒子材料吹き付け成膜方法であって、前記超微粒子材料の吹き付けの流れの少なくとも一部分が前記基板表面に斜めに入射する

Claim (excerpt)：

超微粒子材料を基板表面上に吹き付けによって供給して形成した堆積膜によって前記超微粒子材料の膜を形成する超微粒子材料吹き付け成膜方法であって、前記超微粒子材料の吹き付けの流れの少なくとも一部分が前記基板表面に斜めに入射することを特徴とする超微粒子材料吹き付け成膜方法。

IPC (9)：

C23C 24/04 ,  B01J 19/12 ,  B05B 13/02 ,  B05D 3/04 ,  B05D 3/12 ,  B05D 7/24 301 ,  B05D 7/24 302 ,  B22F 1/00 ,  C23C 26/00

FI (14)：

C23C 24/04 ,  B01J 19/12 G ,  B05B 13/02 ,  B05D 3/04 C ,  B05D 3/12 A ,  B05D 3/12 Z ,  B05D 3/12 B ,  B05D 3/12 C ,  B05D 3/12 E ,  B05D 7/24 301 A ,  B05D 7/24 302 A ,  B22F 1/00 C ,  B22F 1/00 J ,  C23C 26/00 E

F-Term (34)：

4D075AA01 ,  4D075BB02Z ,  4D075BB05Z ,  4D075BB20Z ,  4D075BB49Z ,  4D075BB56Y ,  4D075EA02 ,  4D075EB01 ,  4D075EB05 ,  4F035CD08 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BA06 ,  4G075BA08 ,  4G075BD14 ,  4G075CA14 ,  4G075CA39 ,  4G075CA47 ,  4G075CA63 ,  4G075EB01 ,  4G075EB43 ,  4G075EC01 ,  4G075FB01 ,  4K018AA02 ,  4K018BA01 ,  4K018BB04 ,  4K018BB05 ,  4K018BC01 ,  4K018BC12 ,  4K018BD09 ,  4K044BA01 ,  4K044BA11 ,  4K044CA23 ,  4K044CA41

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平4-038604