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J-GLOBAL ID：200903055223292717

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法

Inventor： 守谷 壮一 ,  角 浩二 ,  邱 宏
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998123734
Publication number (International publication number)：1999317550
Application date： May. 06, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】 電圧依存性の少ない圧電体素子を提供する。【解決手段】 この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして圧電体層(41)における(001)方位の結晶の分極軸方向が下部電極(32)および上部電極(42)間に生ずる電界の方向と略平行になるように設定されている。このような構造の圧電体素子は、電圧の増加に対して圧電d定数が変動しないので、振動量やインクの吐出量の管理が楽である。

Claim (excerpt)：

下部電極および上部電極の間に結晶化された圧電体層を備える圧電体素子において、前記圧電体層における結晶の分極軸方向が前記下部電極および上部電極間に生ずる電界の方向と略平行になるように設定されていることを特徴とする圧電体素子。

IPC (5)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (4)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z