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J-GLOBAL ID：200903055228983190

真空用材料

Inventor： 辻 泰 ,  竹内 協子 ,  湊 道夫 ,  伊藤 好男
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社 ,  真空冶金株式会社
Agent (1)： 飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995108065
Publication number (International publication number)：1996283929
Application date： Apr. 07, 1995
Publication date： Oct. 29, 1996
Summary：

【要約】[目的] 超高真空領域、極高真空領域での使用に適した真空用材料を提供すること。[構成] チタン材料2の真空側となる表面にパラジウム薄膜3を形成させて真空用材料1とする。この真空用材料1により、パラジウム膜3を真空側として、例えば真空容器が製作される。

Claim (excerpt)：

水素溶解性の大きい金属材料の真空側となる表面に、水素ガスを水素原子に解離させる金属の薄膜が形成されていることを特徴とする真空用材料。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭59-224116
  
• 特開平2-259064
  
• 特開平3-226578
  
• 特開平4-173962
  
• 真空装置用表面被覆金属材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-347819   Applicant：株式会社神戸製鋼所