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J-GLOBAL ID：200903055237346372

画像欠陥検査装置、画像欠陥検査方法、およびプログラム

Inventor： 古川 至 ,  雨森 清忠 ,  福井 一希
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (3)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006184400
Publication number (International publication number)：2008014703
Application date： Jul. 04, 2006
Publication date： Jan. 24, 2008
Summary：

【課題】画像欠陥検査において、画像のエッジ部分を欠陥として検出してしまうことを防止しつつ、他の部分を高い欠陥検出感度で検査することができる技術を提供する。【解決手段】本発明の画像欠陥検査装置40は、基準画像データD1から生成されたエッジ画像データD5に基づいて、ピクセル毎にマージン値を設定する。そして、ピクセル毎に異なるマージン値を使用して画像欠陥検査を行う。このため、欠陥の有無を判定する際には、エッジ部分A3と他の領域A1,A2とで異なるマージン値が使用される。したがって、エッジ部分A3を欠陥として検出してしまうことを防止しつつ、他の部分A1,A2を高い欠陥検出感度で検査することができる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

基準画像と対象画像とを比較して前記対象画像上の欠陥検査を行う画像欠陥検査装置であって、 前記基準画像において濃度が切り替わるエッジ部分を抽出することによりエッジ画像を生成するエッジ画像生成手段と、 前記エッジ画像に基づいてピクセルごとにマージン値を設定するマージン値設定手段と、 前記基準画像と前記対象画像との差分画像を生成する差分画像生成手段と、 前記差分画像の各ピクセルの値と当該ピクセルの前記マージン値とを比較することにより、ピクセルごとに欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、 を備えることを特徴とする画像欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  B41F 33/14

FI (3)：

G01N21/88 J ,  G06T1/00 305A ,  B41F33/14 G

F-Term (23)：

2C250EB43 ,  2G051AA90 ,  2G051AB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051ED05 ,  2G051ED08 ,  5B057AA12 ,  5B057BA02 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CH07 ,  5B057DA03 ,  5B057DC16 ,  5B057DC22 ,  5B057DC33

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 印刷物の検査方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-172178   Applicant：三洋電機株式会社