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J-GLOBAL ID：200903055258743517

感光性組成物

Inventor： 高橋 秀明 ,  横田 完一
Applicant, Patent owner： 旭化成工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997117270
Publication number (International publication number)：1998307393
Application date： May. 07, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】 アルカリ現像が可能で、かつ、感度、解像性に優れた感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)の構造単位を有するポリアミド酸誘導体、【化1】(B)放射線照射により酸を発生する化合物、及び(C)酸の作用により(A)のポリアミド酸誘導体を架橋し得る化合物を含有することを特徴とする感光性組成物を製造する。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリアミド酸誘導体100重量部、【化1】(式中、R1:四価の有機基、R2:二価の有機基、R3、R4:一価の有機基又は水酸基を示し、そのうち少なくとも一方は芳香環に結合した水酸基1個以上を有する有機基を示す。)、(B)放射線照射により酸を発生する化合物0.5〜20重量部、(C)酸の作用により上記一般式(1)で表される構造単位を有するポリアミド酸誘導体を架橋し得る化合物3〜40重量部を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 ,  C09D179/08 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 A ,  C09D179/08 Z ,  G03F 7/004 503 Z ,  H01L 21/30 502 R