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J-GLOBAL ID：200903055280581725

ゲッター物質のデポジットと組み込まれたヒーターを有するマイクロ機械デバイス又はマイクロオプトエレクトロニック・デバイス、及びその製造のためのサポート

Inventor：
アミオッティ,マルコ

About アミオッティ,マルコ


Applicant, Patent owner：
サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ

About サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ


Agent (5)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康 ,  西山 雅也
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004567099
Publication number (International publication number)：2006513046
Application date： Dec. 24, 2003
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：
マイクロ機械デバイス(10;20)又はマイクロオプトエレクトロニック・デバイス(30)であって、前記デバイスの動作に有害である気体を吸着するためのゲッター物質のデポジット(17;25;35)と、該デバイスの寿命の間に必要なときいつでも外部から該ゲッター物質を加熱するための組み込まれたシステム(18,18’;19,19’)を含むマイクロ機械デバイス(10;20)又はマイクロオプトエレクトロニック・デバイス(30)が記載される。これらのデバイスを製造するためのサポートのいろいろな実施の形態も記載される。
Claim (excerpt)：
ゲッター物質のデポジット(17;25;35)と該ゲッター物質を加熱するための組み込まれた部材を含み、前記部材は前記デポジット(17;25;35)及び該デバイスの外部と結合されているマイクロ機械デバイス(10;20)又はマイクロオプトエレクトロニック・デバイス(30)であって、前記組み込まれた部材が該ゲッター物質のデポジット(17;25;35)の対向する二つの端に結合された二つの電気接点から成り、該デバイス・ボディーに形成された貫通孔によって電気的に該デバイスの外部に結合され、前記電気接点、貫通孔、及びゲッター物質デポジットで形成されるアセンブリが気密であることを特徴とするデバイス。
IPC (1)：
B81B 3/00
FI (1)：
B81B3/00
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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