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J-GLOBAL ID：200903055304550192

ダミーウエハー

Inventor： 西澤 節 ,  村松 一生 ,  渡部 勉 ,  八坂 龍広
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 植木 久一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995121367
Publication number (International publication number)：1996316283
Application date： May. 19, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 半導体デバイスの製造工程で用いられる検査用のダミーウエハーであって、シリコンウエハーよりも耐エッチング性に優れていると共に、基板として要求される鏡面性や平坦度に優れ、さらには製造プロセスにおいて汚染源とならない様なダミーウエハーを提供する。【構成】 ガラス状カーボンからなることを特徴としており、少なくとも片面が鏡面研磨され、研磨された面の表面粗さがRa0.005μm以下のものを用いることが好ましい。本発明のダミーウエハーはCVD成膜による膜厚のモニター用として優れた特性を有するが、上記固有電気抵抗値が、0.1Ω・cm以上である上記ダミーウエハーを用いることにより、スパッタリング成膜による膜厚のモニター用や清浄度確認用のダミーウエハーとしても優れた特性を発揮する。

Claim (excerpt)：

半導体デバイスの製造工程で用いられる検査用のダミーウエハーであって、ガラス状カーボンからなることを特徴とするダミーウエハー。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  C01B 31/02 101 ,  C04B 35/52 ,  H01L 21/02

FI (5)：

H01L 21/66 Z ,  C01B 31/02 101 A ,  H01L 21/02 B ,  C04B 35/52 A ,  C04B 35/52 G