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J-GLOBAL ID：200903055326776151
赤外検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宮田 金雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995111843
Publication number (International publication number)：1996304298
Application date： May. 10, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：
【要約】【目的】 従来、赤外線カメラ単独では解像度が低いために検出することが困難であった欠陥部周辺の微細な構造まで高い解像度撮像ですることができる検査装置を得る。【構成】 1は被検体、2は微動台、3はプローブ、7はレンズ、8は赤外線カメラ、9はモニタ、12は光源、13は長波長カットフィルタ、14は光ファイバ、15は照明光、そして16は微細な表面像と欠陥像である。
Claim (excerpt)：
レンズによって被検体の赤外線を取り込んで電気信号に変換する赤外線カメラと、この赤外線カメラの電気信号を入力して可視映像を表示するモニタとからなる赤外検査装置において、上記被検体に電気エネルギを供給して赤外線を発生させる電源と、上記赤外線カメラの感度の短波長側に合致する波長を発生する光源とを備えたことを特徴とする赤外検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01J 1/42
, G01J 5/48
G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
, G01J 1/42 N
, G01J 5/48 C
