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J-GLOBAL ID：200903055344482181

結像評価装置

Inventor： 佐藤 敦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993006028
Publication number (International publication number)：1994215084
Application date： Jan. 18, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は、指定した光源条件で複雑な2次元図形の結像シミュレーションを行う結像評価装置を提供することにある。【構成】 本発明の結像評価装置は、光学基本情報を設定し、この情報から光学系特性情報を演算し、評価対象図形情報を設定し、各情報から像強度分布を演算する構成となっている。上記構成により、本発明の結像評価装置は、複雑な2次元図形の結像シミュレーションを行う。

Claim (excerpt)：

光学系基本情報を設定するする基本情報設定手段と、前記光学系基本情報から光学系特性情報を演算する演算手段と、有効光源情報の設定を行なう光源情報設定手段と、評価対象の図形を結像評価対象図形情報として設定する図形情報設定手段と、前記光学系基本情報、光学系特性情報、有効光源情報、結像評価対象図形情報に基づいて像強度分布を演算する分布演算手段と、演算された像強度分布の表示を制御する制御手段とを有することを特徴とする結像評価装置。

IPC (2)：

G06F 15/60 450 ,  G06F 15/20