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J-GLOBAL ID：200903055349778577
レジスト除去装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991145793
Publication number (International publication number)：1993003151
Application date： Jun. 18, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：
【要約】【目的】除去室におけるレジストの除去能力が低下するのを防止する。【構成】除去室2に硫酸槽10を設け、洗浄室3に温水洗浄槽11を設け、除去室2と洗浄室3との間に開閉シャッタ1を設け、半導体ウェハの搬送ロボット4を設け、開閉シャッタ1の近傍の上部に下部に複数の穴を有するエア導入管5を設け、エア導入管5にエア供給装置12を接続する。
Claim (excerpt)：
硫酸槽が設けられた除去室と、温水洗浄槽が設けられた洗浄室と、上記除去室と上記洗浄室との間に設けられた開閉シャッタと、被加工物の搬送ロボットとを有するレジスト除去装置において、上記開閉シャッタの近傍の上部に下部に複数の穴を有するエア導入管を設け、上記エア導入管にエア供給装置を接続したことを特徴とするレジスト除去装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03F 7/42
, H01L 21/304 341
