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J-GLOBAL ID：200903055366888130
セラミックスヒーター及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992302357
Publication number (International publication number)：1994151044
Application date： Nov. 12, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：
【要約】【目的】 作製時の抵抗発熱体の劣化がなく、均熱性と品質の安定性とを確保できるセラミックスヒーター及びその製造方法を提供する。【構成】 焼結したセラミックスからなる上下基板1、2の間に、接合用のガラス3を介してシート状抵抗発熱体4をはさみ、必要に応じて上記構造を多層化し、前記セラミックスの焼結温度より低温でガラス封着し、緻密質セラミックスからなる上下基板1、2と、これら上下基板の間に設けたガラス層3と、このガラス層中に埋設したシート状抵抗発熱体4とからなる構造、さらには必要に応じ上記構造を多層化した構造のセラミックスヒーターを得る。
Claim (excerpt)：
緻密質セラミックスからなる上下基板と、これら上下基板の間に設けたガラス層と、このガラス層中に埋設したシート状抵抗発熱体とからなることを特徴とするセラミックスヒーター。
IPC (2)：
H05B 3/20 328
, H05B 3/14
