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J-GLOBAL ID：200903055368013549

吸着固定に用いる多孔質シートおよび該多孔質シートを用いる吸着固定方法

Inventor： 河村 和典 ,  矢野 周治 ,  橘 俊光 ,  飯田 博之 ,  森山 順一 ,  長井 陽三
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994314680
Publication number (International publication number)：1996169971
Application date： Dec. 19, 1994
Publication date： Jul. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密切断、液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密塗工、偏光板と位相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合わせ等を吸着固定法により行う場合に用いる吸着固定用シートを提供する。【構成】 超高分子量ポリエチレンから成り、且つ、摩擦係数が0.3以下であることを特徴とする多孔質シートである。

Claim (excerpt)：

超高分子量ポリエチレンから成り、且つ、摩擦係数が0.3以下であることを特徴とする吸着固定に用いる多孔質シート。

IPC (2)：

C08J 9/00 CES ,  C08L 23:02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-210148
  
• 超高分子量ポリエチレン多孔質シートまたはフイルムの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-238306   Applicant：大日本印刷株式会社