X線分析装置、X線分析方法、及び表面検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋浩三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003285449
Publication number (International publication number)：2005055265
Application date： Aug. 01, 2003
Publication date： Mar. 03, 2005
Summary：

【課題】広範囲の元素の分析が可能なX線分析装置を小型に構成する。【解決手段】X線管61は、3種類の異なるX線を選択的に発生する。分光素子切り替え機構は、X線管61が発生するX線の種類に応じて、二重湾曲分光素子80a,80b,80cの位置を切り替える。二重湾曲分光素子の結晶表面は、縦方向に所定の曲率R1で凹形に湾曲しており、所定の広がりを持ってブラッグ角で入射したX線は、二重湾曲分光素子の結晶表面でブラッグ反射して、単色化されたX線となる。また、二重湾曲分光素子の結晶表面は、横方向に所定の曲率R2で凹形に湾曲している。曲率R1及び曲率R2により、二重湾曲分光素子の結晶表面でブラッグ反射して単色化されたX線は、半導体ウェーハ1の表面上でスポット状に集束する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

複数の種類のX線を選択的に発生するX線管と、前記X線管が発生するX線の種類毎に設けられ、二重に湾曲した結晶表面を有し、所定の広がりを持ってブラッグ角で入射したX線を結晶表面でブラッグ反射して単色化させると共に集束させる複数の二重湾曲分光素子と、前記複数の二重湾曲分光素子の位置を切り替えることにより、前記X線管が発生したX線をその種類に対応した二重湾曲分光素子の結晶表面へ所定の広がりを持ってブラッグ角で入射させ、二重湾曲分光素子の結晶表面でブラッグ反射したX線を被検査物の表面へ照射する分光素子切り替え手段とを備えたことを特徴とするX線分析装置。

IPC (1)：

G01N23/223

FI (1)：

G01N23/223

F-Term (15)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001EA02 , 2G001EA08 , 2G001EA09 , 2G001GA06 , 2G001HA09 , 2G001JA02 , 2G001JA05 , 2G001JA12 , 2G001JA20 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001PA11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

ディスク表面欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-244530 Applicant：日立電子エンジニアリング株式会社
光干渉計の干渉位相検出方式
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-289741 Applicant：日立電子エンジニアリング株式会社
X線管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-168714 Applicant：谷口一雄

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Cited by examiner (6)

特開昭62-255900
蛍光X線分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-345946 Applicant：株式会社島津製作所
全反射蛍光X線分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-023187 Applicant：理学電機工業株式会社, 株式会社東芝

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