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J-GLOBAL ID：200903055403516257

X線平面検出器

Inventor： 塚本 明
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996161977
Publication number (International publication number)：1998010237
Application date： Jun. 21, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 読み出しSWの破壊を防止する共にサイズを増大することなく、しかも低価格でX線曝射状況をモニタできるX線平面検出器を提供する。【解決手段】 検出面に配列された各画素毎に、画素部11、電荷蓄積部13、TFT15、ツェナーダイオード17を設け、各画素部11はX線を電荷に変換し、各電荷蓄積部13は変換された電荷を蓄積し、各TFT15は蓄積された電荷を読み出す。各ツェナーダイオード17はTFT15の入力側に接続され印加された電圧がTFT15を破壊する電圧未満の所定の電圧になった時に電荷蓄積部13に蓄積された電荷を掃き出す。

Claim (excerpt)：

検出面に配列された複数の画素の各画素に対応して設けられ入射したX線を電荷に変換する電荷変換手段と、この各電荷変換手段に対応して設けられ前記電荷変換手段により変換された電荷を蓄積する電荷蓄積手段と、この各電荷蓄積手段に対応して設けられ前記電荷蓄積手段により蓄積された電荷を読み出す電荷読出手段と、この各電荷読出手段に対応して設けられ、前記電荷読出手段の入力側に接続され、印加される電圧が電荷読出手段を破壊する電圧未満の所定の電圧以上となった時に前記電荷蓄積手段に蓄積されている電荷を掃き出す掃き出し手段と、を備えることを特徴とするX線平面検出器。

IPC (4)：

G01T 1/24 ,  A61B 6/00 300 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/10

FI (4)：

G01T 1/24 ,  A61B 6/00 300 S ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/10 A